离子输入

线性滑动数据表 pdf

由于单个圆晶片离子输入技术的出现,西风公司提供了高硬度的线性空气主轴,用于喷涂过程中,圆晶片在离子束中的精确定位。

特性包括:
  • 超平稳移动
  • 行程长度超过300毫米
  • 在10-7托的真空环境中运转

空气轴承的优点:

高精度和低污染

如果您想获得有关西风离子输入主轴的更多信息,请发送电子邮件至:wwinfo@westwind-airbearings.com.

ion implantation spindle