离子输入

线性滑动数据表

由于单个圆晶片离子输入技术的出现，西风公司提供了高硬度的线性空气主轴，用于喷涂过程中，圆晶片在离子束中的精确定位。

特性包括：

超平稳移动
行程长度超过300毫米
在10-7托的真空环境中运转

空气轴承的优点：

高精度和低污染

如果您想获得有关西风离子输入主轴的更多信息，请发送电子邮件至：wwinfo@gsig.com.

ion implantation spindle

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